Keithley 2600B 系列 SourceMeter SMU 是吉時利公司推出的一款高性能、高精度的源測量單元。它被廣泛認為是半導體、納米技術、材料科學、光電元器件等研發(fā)和測試領域的行業(yè)標準儀器。
一、 什么是 SMU?
要理解 2600B，首先要明白 SMU 是什么。SMU 不同于普通的電源或萬用表，它在一個儀器中集成了四種功能：
1.高精度電源
2.真電流源
3.數(shù)字萬用表
4.電子負載
優(yōu)勢： SMU 可以同步地施加一個精確的電壓或電流激勵，并同時高精度地測量由此產生的電流或電壓響應。這種“源”與“測量”的同步能力，使其在表征器件特性時具有無與倫比的效率和準確性。
二、 2600B 系列的核心特點和優(yōu)勢
1.高吞吐量與并行測試：
TSP® 技術： 這是 2600B 系列最大的亮點。每個通道都內置了一個測試腳本處理器，可以運行完整的測試程序。這意味著多個 SMU 通道可以獨立、并行地工作，無需通過主控計算機來回發(fā)送指令，極大地減少了通信延遲，提升了測試吞吐量。這對于多站點并行測試(如晶圓測試)至關重要。
2.高精度和高性能：
高精度： 提供高達 6.5 位分辨率的低噪聲測量。
快速采樣率： 最高可達 1μs/點的數(shù)字化采樣率，能夠捕獲快速的瞬態(tài)信號。
寬動態(tài)范圍： 覆蓋從 pA/pV 到 A/V 級的寬范圍，滿足從微弱漏電流到高功率器件的測試需求。
3.靈活的通道配置：
2600B 系列采用模塊化、多通道設計。主機可以容納 1、2 或 4 個獨立的 SMU 通道插卡。
用戶可以根據(jù)測試需求，在同一主機中混合搭配不同型號的 SMU 卡，實現(xiàn)最優(yōu)的配置和成本控制。
4.豐富的型號選擇：
2601B: 40W， 20A 脈沖電流， 低電流測量。
2602B: 雙通道 40W (每通道)， 10A 脈沖電流， 最通用的型號。
2604B: 四通道 25W (每通道)。
2606B: 高功率型號， 100W， 40A 脈沖電流， 適用于功率器件測試。
2611B/2612B/2614B: 與 260xB 對應，但提供了更快的系統(tǒng)和更低的噪聲。
5.易于使用：
KickStart 軟件： 吉時利提供的這款軟件無需編程，通過圖形化界面即可快速完成儀器設置、數(shù)據(jù)采集和繪圖，非常適合研發(fā)和調試。
嵌入式 TSP-Lua 腳本： 用戶可以使用類似 Python 的 Lua 腳本語言編寫復雜的測試序列，并直接在儀器上運行，實現(xiàn)高度自動化和定制化的測試。
三、 主要應用領域
•半導體器件測試： 晶體管、二極管、功率器件、 MEMS 的 I-V、C-V 特性分析。
•納米技術和新材料： 碳納米管、石墨烯、納米線的電學特性表征。
•光電器件測試： LED、激光二極管、太陽能電池、光電探測器的性能測試(常與太陽光模擬器配合使用)。
•無源元件測試： 電阻、電容、電感、壓敏電阻的特性分析。
•自動化生產測試： 在晶圓探針臺、自動化測試設備中作為核心測量單元。
Keithley 2600B 系列 SourceMeter SMU 是一款集高精度、高速度、靈活性和強大并行測試能力于一身的頂級測試儀器。 它的 TSP 技術使其在多通道應用中具有顯著的速度優(yōu)勢，而其寬動態(tài)范圍和高精度則能滿足從基礎研究到高要求生產測試的各種應用。
