泰克Keithley 電容漏漏電流多路測(cè)試系統(tǒng)通過可編程直流電源對(duì)多路并聯(lián)的電容產(chǎn)品進(jìn)行充電，充電結(jié)束，通過高精度皮安表6485進(jìn)行漏電流測(cè)試，然后通過數(shù)據(jù)采集器2700、單級(jí)控制模塊7705進(jìn)行多個(gè)產(chǎn)品通道切換，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化，高精度測(cè)試，并將結(jié)果傳到軟件系統(tǒng)進(jìn)行處理，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄保存。
Keithley (吉時(shí)利)電容漏電流多通道測(cè)試系統(tǒng)主要用于半導(dǎo)體器件、電子元件及材料的電氣性能測(cè)試，其核心作用體現(xiàn)在以下方面：
●半導(dǎo)體器件測(cè)試
適用于 GaN 、 SiC 等新型功率半導(dǎo)體材料的參數(shù)測(cè)試，可實(shí)現(xiàn)高壓(最高1100V)、高精度(6位分辨率)的電容和漏電流測(cè)量，支持單次測(cè)試完成高低壓參數(shù)測(cè)試，大幅提升測(cè)試效率。
●漏電流檢測(cè)
通過四象限操作(源/匯電流電壓)直接測(cè)量器件漏電流，結(jié)合高靈敏度靜電計(jì)技術(shù)，可檢測(cè)微小漏電流變化(如 MOS器件 亞閾值漏電)，支持 ISO-17025校準(zhǔn) 確保數(shù)據(jù)可靠性。
●多通道靈活配置
提供12種開關(guān)模塊選擇，支持200個(gè)差分輸入通道(隔離電壓300V)，允許同時(shí)測(cè)量多個(gè)器件參數(shù)，適用于晶片級(jí)測(cè)試(如 功率模塊 的并行檢測(cè))，通道數(shù)可根據(jù)需求動(dòng)態(tài)調(diào)整。
●自動(dòng)化與兼容性
內(nèi)置 KTE 7軟件 支持系統(tǒng)級(jí)校準(zhǔn)(含探頭卡遷移路徑)，兼容 SCPI腳本 編程，可快速集成至生產(chǎn)線自動(dòng)化系統(tǒng)，降低操作復(fù)雜度。
該系統(tǒng)通過高精度電容測(cè)量(22位分辨率)與漏電流特性分析，為半導(dǎo)體工藝驗(yàn)證、可靠性評(píng)估及材料研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支撐。
- 產(chǎn)品推薦：Keithley 4200A-SCS 參數(shù)分析儀
